12月29日消息，據(jù)國外媒體報道，阿斯麥是全球目前唯一能制造極紫外光刻機的廠商，在推出TWINSCAN NXE:3400B和NXE:3400C這兩款極紫外光刻機

12月29日消息，據(jù)國外媒體報道，阿斯麥是全球目前唯一能制造極紫外光刻機的廠商，在推出TWINSCAN NXE:3400B和NXE:3400C這兩款極紫外光刻機之后，他們還在研發(fā)更先進、效率更高的極紫外光刻機。

在10月14日發(fā)布的三季度財報中，阿斯麥就披露他們新一代的極紫外光刻機TWINSCAN NXE:3600D，計劃在明年年中開始出貨，生產(chǎn)效率較目前的產(chǎn)品提升18%。

而從外媒的報道來看，除了NXE:3600D，阿斯麥還在研發(fā)高數(shù)值孔徑的極紫外光刻機NXE:5000系列，設計已經(jīng)基本完成。

外媒在報道中也表示，雖然阿斯麥NXE:5000高數(shù)值孔徑極紫外光刻機的設計已基本完成，但商用還需時日，預計在2022年開始商用。

作為一款高數(shù)值孔徑的極紫外光刻機，NXE:5000系列的數(shù)值孔徑，將提高到0.55，阿斯麥目前已推出的TWINSCAN NXE:3400B和NXE:3400C這兩款極紫外光刻機，數(shù)值孔徑為0.33。

值得注意的，在阿斯麥高數(shù)值孔徑的極紫外光刻機方面，月初也出現(xiàn)過相關的消息。

在月初報道CEO彼得·維尼克等阿斯麥高管，到訪三星電子并參觀三星電子的半導體工廠時，外媒表示三星希望獲得阿斯麥更多的極紫外光刻機、先于臺積電獲得高數(shù)值孔徑極紫外光刻機。

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