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ASML傳來捷報(bào)全球最先進(jìn)的1nmEUV光刻機(jī)業(yè)已完成設(shè)計(jì)

2020-12-01 09:22:58 來源： 中關(guān)村在線

想想幾年前的全球半導(dǎo)體芯片市場，真的可謂哀嚎一片，一時(shí)間摩爾定律失效的言論可謂此起彼伏。但是在今天，我們不僅看到5nm工藝如期而至，

想想幾年前的全球半導(dǎo)體芯片市場，真的可謂哀嚎一片，一時(shí)間摩爾定律失效的言論可謂此起彼伏。但是在今天，我們不僅看到5nm工藝如期而至，臺積電宣布2nm獲得重大進(jìn)展，就連光刻機(jī)的老大ASML也傳來捷報(bào)，全球最先進(jìn)的1nm EUV光刻機(jī)業(yè)已完成設(shè)計(jì)。

ASML已完成1nm光刻機(jī)設(shè)計(jì) 摩爾定律再次重新起效

ASML已完成1nm光刻機(jī)設(shè)計(jì)

近日，與ASML(阿斯麥)合作研發(fā)光刻機(jī)的比利時(shí)半導(dǎo)體研究機(jī)構(gòu)IMEC公布了3nm及以下制程的在微縮層面技術(shù)細(xì)節(jié)。具體來看，ASML對于3m、2nm、1.5nm、1nm甚至Sub 1nm都做了清晰的路線規(guī)劃，且1nm時(shí)代的光刻機(jī)體積將增大不少。

顯然，1nm光刻機(jī)需要更強(qiáng)大的物理極性，2nm之后需要更高分辨率的曝光設(shè)備。目前已經(jīng)投入量產(chǎn)的7nm、5nm工藝已經(jīng)引入了0.33NA的EUV曝光設(shè)備，而ASML已經(jīng)完成了0.55NA曝光設(shè)備的基本設(shè)計(jì)，預(yù)計(jì)在2022年實(shí)現(xiàn)商業(yè)化。

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